\u00a0\u00a0Reuters\u00a0\u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0438\u043b \u043d\u0435 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u0443\u044e \u0434\u043b\u044f \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0446\u0435\u0432 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u0432 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u0435 \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u0431\u044b\u043b \u0437\u0430\u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0437\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 10 \u043b\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0441\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0418\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441 \u0434\u0435\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c (PMI) \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043d\u043e \u043e\u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443, 1 \u043c\u0430\u0440\u0442\u0430, \u041d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0431\u044e\u0440\u043e \u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u041a\u041d\u0420 (NBS) \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u0437\u043b\u0435\u0442\u0435\u043b \u0432 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u0435 \u0434\u043e 52,6 \u0441 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 50,1. \u041d\u0430\u043f\u043e\u043c\u043d\u0438\u043c, \u0447\u0442\u043e \u00ab\u044d\u043a\u0432\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\u00bb \u0432\u00a0PMI\u00a0\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u043a\u0430 \u0432 50 \u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u043e\u0432: \u0447\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441\u043e\u043c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u0430, \u0442\u0435\u043c \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442 \u2013 \u0447\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 50, \u0442\u0435\u043c \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0440\u0435\u0446\u0435\u0441\u0441\u0438\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0437\u0438\u0441\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0430. \u0424\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0439\u00a0PMI\u00a0\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0441\u0438\u043b \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e 50-\u043f\u0443\u043d\u043a\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u044d\u043a\u0432\u0430\u0442\u043e\u0440, \u043d\u043e \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0433\u043d\u043e\u0437 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0432\u0448\u0438\u0439 50,5. \u0422\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0435\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u041f\u043e\u0434\u043d\u0435\u0431\u0435\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u043e \u0443\u0436\u0435 \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u044c \u043b\u0435\u0442, \u0441 \u0430\u043f\u0440\u0435\u043b\u044f 2012 \u0433\u043e\u0434\u0430.\u00a0\u041a\u0430\u043a \u043f\u0438\u0448\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0442\u043e\u0440\u00a0EPA\u00a0MARK\u00a0R.\u00a0CRISTINO, \u0418\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043b\u0438\u0441\u044c \u043d\u043e\u0432\u044b\u043c \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u043c\u043e\u043c \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u044b\u043b\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c \u0432 \u0443\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044e\u0430\u043d\u044f \u0438 \u0440\u0430\u043b\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0444\u0442\u044f\u043d\u044b\u0445 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430\u0445.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041f\u0440\u043e\u0448\u043b\u044b\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0432\u044b\u0434\u0430\u043b\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435\u0442\u044b \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0432\u0435\u043a\u0430. \u0412\u0441\u0435\u043c\u0443 \u0432\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u0441\u043f\u044b\u0448\u043a\u0430 \u043a\u043e\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0438\u0440\u0443\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u043d\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0430\u044f \u0432 \u041f\u043e\u0434\u043d\u0435\u0431\u0435\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u044c\u0431\u044b \u0441 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044c\u044e \u2013 \u043d\u0443\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043f\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043a\u043e\u0432\u0438\u0434\u0443 \u0441 \u0435\u0435 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0434\u0430\u0443\u043d\u0430\u043c\u0438, \u043e\u0442 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0445\u043e\u0440\u0430\u0434\u0438\u043b\u043e \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0443\u044e, \u043d\u043e \u0438 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0443. \u041f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u043e \u041a\u041d\u0420 \u043d\u0435\u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043e\u0442\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b\u043e \u043b\u044c\u0432\u0438\u043d\u0443\u044e \u0434\u043e\u043b\u044e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u0434\u0435\u043a\u0430\u0431\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0448\u043b\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0434\u0430. \u0420\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u043e\u043c \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043e\u0442\u043c\u0435\u043d\u044b \u0438 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0435\u043a\u043e\u0440\u0434\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435, \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u044f\u0449\u0430\u044f \u043e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u043c \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0440\u044b\u043d\u043a\u043e\u0432 \u0432\u0437\u043b\u0435\u0442 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e\u00a0PMI\u00a0\u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u044e\u0440\u043f\u0440\u0438\u0437\u043e\u043c. \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u0440\u0435\u0430\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0430\u0437\u0438\u0430\u0442\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0438. \u00ab\u041a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e, \u043a\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u044d\u0442\u0438\u043c \u0446\u0438\u0444\u0440\u0430\u043c \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u043e, \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043b\u044c\u0437\u044f \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0441\u0435\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0441\u043e\u0431\u044b\u0442\u0438\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043d\u043e \u043e\u0431\u0449\u0430\u044f \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u043d\u0435\u0441\u043e\u043c\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438) \u0432 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 2023 \u0433\u043e\u0434\u0430\u00bb,- \u043f\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u00a0NBS\u00a0\u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0441\u0442\u00a0Guotai\u00a0Junan\u00a0International\u00a0\u0427\u0436\u043e\u0443 \u0425\u0430\u043e.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0421\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0438 \u0436\u0434\u0443\u0442 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0441\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u0441\u0435\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043f\u0430\u0440\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u2013 \u0412\u0441\u0435\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0421\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d\u0438\u044f \u041d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u041f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 (\u0412\u0421\u041d\u041f). \u041e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043c \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043e\u0437\u0432\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0446\u0435\u043b\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0439 \u0433\u043e\u0434 \u0438 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u044b \u0447\u0438\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0447\u0430\u0442\u044c \u0437\u0430 \u0438\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435. \u00ab\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438\u00a0PMI\u00a0\u0437\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d\u0438\u044f \u0412\u0421\u041d\u041f,- \u0446\u0438\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u00a0Reuters\u00a0\u0427\u0436\u043e\u0443.- \u041c\u044b \u0436\u0434\u0435\u043c \u0437\u0430\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0440\u0430\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438\u00bb. \u041e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u043c \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435\u0442\u044b \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442 \u0438 \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441 \u0434\u0435\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435 \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433\u00a0Caixin\/S&P, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u0435 \u0432\u044b\u0440\u043e\u0441 \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0435\u043c\u044c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u043c \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435\u0442\u044b \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442 \u0438 \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441 \u0434\u0435\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435 \u0443\u0441\u043b\u0443\u0433\u00a0Caixin\/S&P, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u0435 \u0432\u044b\u0440\u043e\u0441 \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0435\u043c\u044c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432. \u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0434\u0435\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430 \u041a\u041d\u0420 \u043d\u0435 \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c. \u0418\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0441\u0442\u044b \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u044e\u0442 \u043e \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0432\u0448\u0438\u0445\u0441\u044f \u0432 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u0435 \u043e\u0442\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043d\u0430\u0445 \u043f\u043e \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0435 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0446\u0435\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u0440\u043e\u043f\u044f\u0442\u0441\u044f \u0438\u0434\u0442\u0438 \u0432 \u043c\u0430\u0433\u0430\u0437\u0438\u043d\u044b \u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0434\u0435\u043d\u044c\u0433\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0432\u0430\u0440\u044b \u0437\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435\u0439. \u0418\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0435 \u0432 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u0435 \u0432\u044b\u0440\u043e\u0441 \u0434\u043e 56,3 \u0441 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 54,4. \u042d\u0442\u043e \u0442\u043e\u0436\u0435 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442, \u043d\u043e \u0437\u0430 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u2013 \u0441 \u043c\u0430\u0440\u0442\u0430 2021 \u0433\u043e\u0434\u0430. \u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0434\u0435\u043a\u0441\u00a0PMI, \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0434\u0436\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0438\u0445 \u0441\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u0442\u043e\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b \u0440\u0435\u043a\u043e\u0440\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442: \u0441 52,9 \u0432 \u044f\u043d\u0432\u0430\u0440\u0435 \u0434\u043e 56,4 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0448\u043b\u043e\u043c \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0448\u043b\u0443\u044e \u043f\u044f\u0442\u043d\u0438\u0446\u0443, 24 \u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044f, \u043e\u0444\u0438\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u041d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u043d\u043a\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0437\u0430\u044f\u0432\u0438\u043b \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0432 \u0446\u0435\u043b\u043e\u043c \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 2023 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u00ab\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0435 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u00bb.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041d\u043e\u0432\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e \u0440\u0435\u043a\u043e\u0440\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0432\u043e\u0433\u0438 \u0432 \u0415\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0441 \u043d\u0435\u0444\u0442\u044c\u044e \u0432 \u0421\u0442\u0430\u0440\u043e\u043c \u0421\u0432\u0435\u0442\u0435 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0438\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f, \u0442\u043e \u043f\u043e \u0433\u0430\u0437\u0443 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438, \u0432\u043e\u0437\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u043d\u0430 \u0441\u043f\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a, \u043d\u0430\u0432\u0435\u0440\u043d\u044f\u043a\u0430 \u043e\u043a\u0430\u0436\u0443\u0442 \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u044e \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u0438\u043c \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0444\u0438\u0440\u043c\u0430\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c \u0443\u0436\u0435 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u043d\u0443\u0436\u043d\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0442\u044c \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0443\u0436\u0435 \u043a \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0437\u0438\u043c\u0435. \u041d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u0437\u0435\u043c\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0445\u0440\u0430\u043d\u0438\u043b\u0438\u0449\u0430 \u0441 \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u043a\u0430\u043a \u0432 2022 \u0433\u043e\u0434\u0443, \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0435\u0434\u0432\u0430 \u043b\u0438 \u0443\u0434\u0430\u0441\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0417\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b \u0431\u044c\u044e\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0432\u043e\u0433\u0443 – \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u043a \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0433\u0435\u0433\u0435\u043c\u043e\u043d\u0438\u0438 – \u0421\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430 \u00ab\u0410\u0432\u0441\u0442\u0440\u0430\u043b\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a\u0438\u00bb (ASPI) \u043d\u0430\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043b\u0438 44 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435, \u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u0441\u0435, \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u043a\u0435, \u0431\u0438\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0435, \u0440\u043e\u0431\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0435, \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u0445, \u0438 \u0443\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u0433\u043e\u043d\u043a\u0435 \u0437\u0430 \u043d\u0438\u043c\u0438 \u0441 \u043e\u0433\u0440\u043e\u043c\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432\u043e\u043c \u043b\u0438\u0434\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439. \u0423\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0410\u043a\u0430\u0434\u0435\u043c\u0438\u0438 \u041d\u0430\u0443\u043a \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u0433, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0446\u0435\u0432, \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043d\u0430\u0434 37 \u0438\u043b\u0438 84% \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439. \u0418\u0437 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0438\u0444\u0440 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0433\u043e\u043d\u043a\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0435\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u043e \u0434\u043e\u0433\u0430\u0434\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f, \u0441\u0443\u043b\u0438\u0442 \u0438\u043c \u0442\u0443\u043c\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0432\u0441\u0442\u0440\u0430\u043b\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0413\u043e\u0441\u0434\u0435\u043f\u043e\u043c \u0421\u0428\u0410. \u0421\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0428\u0442\u0430\u0442\u044b \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u043e, \u0447\u0442\u043e, \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u043a\u0430\u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u043b\u0435\u043d\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043f\u0443\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u0430\u043a\u0446\u0438\u043d, \u0432 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u043c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0431\u0435\u0437\u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u043b\u0438. \u00ab\u0417\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0433\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0441\u043e\u0440\u0435\u0432\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0433\u043e\u043d\u043a\u0443 \u0437\u0430 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0440\u044b\u0432\u0430\u043c\u0438\u00bb,\u00a0\u2014 \u0437\u0430\u044f\u0432\u0438\u043b \u0432 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u044c\u044e\u00a0Reuters\u00a0\u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041e\u043d \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u0438\u043d\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0447\u0442\u043e \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043b\u0435\u0433\u0438 \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0440\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043f\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430\u043c.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0410\u0432\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0446\u0438\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043a \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043a\u0440\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d. \u041e\u043d\u0438 \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0443\u0434\u0438\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0440\u044b\u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043d\u0430\u0434 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0432 2021 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432 \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0446\u0435\u0432.\u00a0\u00a0\u00ab\u0417\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043f\u044f\u0442\u044c \u043b\u0435\u0442 \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u044b 48,49% \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0434\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0430\u0432\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438, \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442, \u2014 \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0430\u0432\u0441\u0442\u0440\u0430\u043b\u0438\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445.- \u0412 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f 7 \u0438\u0437 10 \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0435\u0442\u0435\u00bb. \u041c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0443\u0441\u043f\u0435\u0445\u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0446\u0435\u0432 \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435 \u043d\u0430\u0434 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0442\u043e\u043c\u0443, \u0447\u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0434\u043a\u0438, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u00ab\u041f\u044f\u0442\u044c \u0433\u043b\u0430\u0437\u00bb, \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u044e\u0449\u0443\u044e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0434\u043a\u0438 \u0421\u0428\u0410, \u0412\u0435\u043b\u0438\u043a\u043e\u0431\u0440\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438, \u041a\u0430\u043d\u0430\u0434\u044b, \u0410\u0432\u0441\u0442\u0440\u0430\u043b\u0438\u0438 \u0438 \u041d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0417\u0435\u043b\u0430\u043d\u0434\u0438\u0438, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0441\u0442\u0430\u043d\u0443\u0442 \u00ab\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u044c\u00bb \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e, \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u043c \u0432 10 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e, \u0433\u0434\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u043e\u043b\u044e \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e, \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0439 \u043e\u0442\u0440\u044b\u0432 \u0443 \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0430\u0442\u0430\u0440\u0435\u0439, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 5G\u00a0\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435. \u041a\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438, \u043d\u0430\u0443\u0447\u043d\u043e-\u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0440\u044b\u0432\u044b \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u0438\u0437 \u041a\u041d\u0420, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0447\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0437\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435\u0439. \u0412 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u00a0ASPI\u00a0\u0431\u044b\u043b\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u043f\u044f\u0442\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0436\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430\u0445 \u00ab\u041f\u044f\u0442\u0438 \u0433\u043b\u0430\u0437\u00bb \u0438 \u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u043c \u043e\u043f\u044b\u0442\u043e\u043c \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u042d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u043e\u043b\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0432\u043e\u0439\u043d\u0430 \u0431\u0443\u0448\u0443\u0435\u0442 \u2013 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u0435\u0442\u00a0\u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0436\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442 \u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u043a \u0432 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439\u00a0\u2013 \u0414\u0438\u043b\u0430\u043d \u041f\u0430\u0442\u0435\u043b.\u00a0\u0414\u0435\u0441\u044f\u0442\u0438\u043b\u0435\u0442\u0438\u044f \u0441\u043f\u043e\u043d\u0441\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u043f\u043e\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0448\u043f\u0438\u043e\u043d\u0430\u0436\u0430, \u0445\u0430\u043a\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0442\u0430\u043a, \u0434\u0435\u043c\u043f\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0438 \u0434\u0440\u0430\u043a\u043e\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0443\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043a \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c \u043d\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 21-\u0433\u043e \u0432\u0435\u043a\u0430\u00a0\u2014 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c. \u0412 \u043e\u043a\u0442\u044f\u0431\u0440\u0435 \u0421\u0428\u0410 \u0432\u0432\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u044b \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0435\u0448\u0438\u043b\u043e \u0432\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0417\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u044b, \u043d\u043e \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u044b \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b. \u0421\u0428\u0410 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0435\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432,\u00a0CMP(Chemical\u00a0mechanical\u00a0polishing) \u0438 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043b\u0430\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043d\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a\u00a0Applied\u00a0Materials,\u00a0Lam\u00a0Research\u00a0\u0438\u00a0KLA, \u0436\u0430\u043b\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0428\u0410 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0442 \u0437\u0430\u0440\u0443\u0431\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c, \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u043a \u0433\u043e\u043b\u043b\u0430\u043d\u0434\u0441\u043a\u0430\u044f\u00a0ASM\u00a0International\u00a0\u0438 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f\u00a0Tokyo\u00a0Electron, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u043b\u044e \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u043c\u044f\u0433\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f,\u00a0ASML, \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439\u00a0\u0421\u0428\u0410. \u041a\u0430\u043a \u0435\u0432\u0440\u043e\u043f\u0435\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445,\u00a0ASML\u00a0\u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a\u00a0EUV, \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u0438\u0437 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u043e\u0432,\u00a0\u2013 \u041f\u0438\u0442\u0435\u0440 \u0412\u0435\u043d\u043d\u0438\u043d\u043a, \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u00a0ASML\u00a0\u0418 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f\u00a0ASML\u00a0\u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0421\u0430\u043d-\u0414\u0438\u0435\u0433\u043e \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0435\u0439\u00a0Cymer, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0431\u0440\u0435\u043b\u0438.<\/p>\n
\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0421\u0428\u0410. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0443 \u0421\u0428\u0410, \u0431\u0435\u0437\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e, \u0435\u0441\u0442\u044c \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0437\u0430\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c\u00a0ASML\u00a0\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0430\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439, \u0421\u0428\u0410 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043b\u0438 \u0434\u0438\u043f\u043b\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439\u00a0\u043f\u0443\u0442\u044c. \u0412 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432 \u0432 \u0421\u0428\u0410, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0430\u0445 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f \u0434\u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0438\u0438 \u043e\u0431 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e. \u0412 \u043f\u044f\u0442\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u043d\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u041e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442? \u041d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u044b \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c, \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u0438 \u043a\u0430\u0441\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u00a0ArFi. \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440, \u043d\u043e \u043c\u044b \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044b \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043d\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435. \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u044b \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043d\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0421\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u044b \u0441\u043e\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u043c\u0441\u044f \u043e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u0442\u044c \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0437\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0434\u044b\u0440 \u0432 \u043d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u0435\u043a \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430 \u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0DUV, \u043d\u0435\u0442 \u0443\u043f\u043e\u043c\u0438\u043d\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e \u0442\u043e\u043c, \u043d\u0430\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043e\u043d\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b.\u00a0DUV\u00a0\u2014 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 (KrF), \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArF) \u0438 \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0435\u0439 \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArFi).\u00a0Nikon\u00a0\u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0430\u0437\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c\u00a0NSR-1505EX\u00a0\u0432 1988\u00a0\u0433\u043e\u0434\u0443 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435\u00a0KrF. \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u043d \u0438\u043c\u0435\u043b \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 500\u00a0\u043d\u043c, \u043d\u043e \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c \u043e\u043d \u0431\u044b\u043b \u043c\u043e\u0434\u0435\u0440\u043d\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u043e 250\u00a0\u043d\u043c \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 100\u00a0\u043d\u043c. \u041d\u0435\u0434\u0430\u0432\u043d\u043e \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0421\u0428\u0410, \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0443 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0443\u044e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044e. \u0421 \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u044b,\u00a0ASML\u00a0NXT\u00a02100i, \u0432\u044b\u043f\u0443\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 2022\u00a0\u0433\u043e\u0434\u0443, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,5\u00a0\u043d\u043c \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c 14\u00a0\u043d\u043c, 7\u00a0\u043d\u043c \u0438\u043b\u0438 5\u00a0\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b, \u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043a\u0430\u0441\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b\u00a0TSMC\u00a016\u00a0\u0438 12\u00a0\u043d\u043c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439\u00a0metal\u00a0pitch\u00a064\u00a0\u043d\u043c. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u00a0TSMC\u00a07\u00a0\u043d\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439\u00a0metal\u00a0pitch\u00a040\u00a0\u043d\u043c. 5-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u00a0TSMC\u00a0\u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439\u00a0metal\u00a0pitch\u00a028\u00a0\u043d\u043c.<\/p>\n
\u041b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b\u00a0metal\u00a0pitch\u00a0\u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e. \u0412 \u0443\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u044f \u0420\u044d\u043b\u0435\u044f (CD\u00a0=\u00a0k1\u2022\u00a0\u03bb\/NA)\u00a0CD\u00a0\u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430\u0438\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430.\u00a0\u03bb\u00a0\u2014 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430.\u00a0NA\u00a0\u2014 \u044d\u0442\u043e \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f, \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043e\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446,\u00a0k1\u00a0\u2014 \u044d\u0442\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0430. \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0k1 =\u00a00,25.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0421\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 (SAQP) \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0DUV. \u0425\u043e\u0442\u044f \u0435\u0441\u0442\u044c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u043c\u044b \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c.\u00a0TSMC\u00a0\u0438 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u00a0SMIC\u00a0\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043b\u0438 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0431\u0435\u0437\u00a0EUV, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f\u00a0SAQP\u00a0\u0441 \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u0438\u043c\u043c\u0435\u0440\u0441\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e (ArFi) \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e. \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439\u00a0metal\u00a0pitch\u00a028\u00a0\u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432\u00a0TSMC\u00a0N5, \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d \u0431\u0435\u0437\u00a0EUV.\u00a0SAQP\u00a0\u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0ArFi\u00a0(NA\u00a0= 1,35,\u00a0\u03bb\u00a0= 193\u00a0\u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438\u00a0k1, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c 0,391.\u00a0\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0442\u0438 \u043d\u0430 5-\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u0442\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438\u00a0ArFi\u00a0\u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b.\u00a0ASML\u00a0\u0438\u00a0Nikon\u00a0\u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0ArFi\u00a0\u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u00a0metal\u00a0pitch\u00a028\u00a0\u043d\u043c. \u0425\u043e\u0442\u044f \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u0440\u0435\u043d\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a\u00a0EUV, \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a\u00a0\u041a\u0438\u0442\u0430\u0439.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 7\u00a0\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439\u00a0metal\u00a0pitch\u00a040\u00a0\u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 7-\u043d\u043c \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430\u00a0TSMC, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. \u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0442\u044c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e\u00a0ArFi, \u043d\u043e \u0438\u0445 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c.\u00a0SAQP\u00a0\u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0443\u0445\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430\u00a0ArF\u00a0(NA\u00a0= 0,93,\u00a0\u03bb\u00a0= 193\u00a0\u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441\u00a0k1 \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,385.\u00a0\u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u044d\u0442\u043e \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043d\u0435 \u0442\u0430\u043a \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e, \u043a\u0430\u043a\u00a0ArFi\u00a0DUV\u00a0\u00ab7 \u043d\u043c\u00bb \u043e\u0442\u00a0Intel,\u00a0TSMC\u00a0\u0438\u00a0SMIC\u00a0, \u043d\u043e \u044d\u0442\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430\u0445 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0438\u0434\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432\u00a0\u0421\u0428\u0410.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0438\u0442\u044c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u044b \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e 14\u00a0\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u043e \u0432\u0441\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439\u00a0metal\u00a0pitch\u00a064\u00a0\u043d\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043d\u043e\u0434\u0430\u0445, \u043a\u0430\u043a 16-\u043d\u043c \u0438 12-\u043d\u043c\u00a0TSMC\u00a0\u0438 14-\u043d\u043c\u00a0Samsung, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0ArF, \u043d\u043e \u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 (KrF). \u0424\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0438\u043f\u0442\u043e\u043d\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u00a0\u03bb\u00a0= 248\u00a0\u043d\u043c, \u043d\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0437. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0447\u0438\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441 0,6\u00a0\u0434\u043e 0,8\u00a0\u0438 \u0434\u043e\u00a00,93.\u00a0SAQP, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0443\u044e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044e\u00a0KrF\u00a0(NA\u00a0= 0,93,\u00a0\u03bb\u00a0= 248\u00a0\u043d\u043c), \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441\u00a0k1, \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,48.\u00a0SAQP\u00a0\u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0KrF\u00a0\u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 (NA\u00a0= 0,8,\u00a0\u03bb\u00a0= 248\u00a0\u043d\u043c) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441\u00a0k1 \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u043c 0,413.\u00a0\u042d\u0442\u043e \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0442\u00a0ASML,\u00a0Nikon\u00a0\u0438\u043b\u0438\u00a0Canon. \u041e\u043f\u044f\u0442\u044c \u0436\u0435, \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439, \u043d\u043e \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0443\u0434\u0432\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 14\u00a0\u043d\u043c \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043a \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 19%. \u042d\u0442\u043e \u0443\u0436\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u043e \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0433\u043e\u0441\u0443\u0434\u0430\u0440\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0438\u0434\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438\u043c \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0442\u043c\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f (overlay) \u043f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439. \u0412 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0441\u044f \u043a \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044e. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u0441\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 (SAQP), \u0447\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u044b\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0442\u044c 4\u00a0\u0441\u043b\u043e\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0421\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435\u00a0EUV-\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u043e\u0442\u00a0ASML\u00a0\u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,1\u00a0\u043d\u043c. \u041f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0430\u044f \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f, 3400C, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c\u00a0EUV, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432 2021\u00a0\u0433\u043e\u0434\u0443, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f 1,5\u00a0\u043d\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0445\u0443\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0439\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444 \u043e\u0442\u00a0ASML, 2100i. \u041d\u0430 \u0441\u0435\u0433\u043e\u0434\u043d\u044f \u043c\u044b \u043d\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u043c \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0442\u043e, \u0433\u0434\u0435, \u043f\u043e \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043c\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e, \u043f\u0440\u0438\u0435\u043c\u043b\u0435\u043c\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u044d\u043a\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 14\u00a0\u043d\u043c, 7\u00a0\u043d\u043c \u0438 5\u00a0\u043d\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u044d\u0442\u043e \u0431\u044b\u043b\u043e \u0431\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0438\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0421\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0431\u0435\u043b\u043e\u043c \u0432 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432, \u0430 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0438\u0431\u043e \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u041f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0433\u043e\u0440\u0441\u0442\u043a\u043e\u0439 \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439. \u0410\u043c\u0435\u0440\u0438\u043a\u0430\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u00a0Dupont\u00a0\u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043b\u0435\u043a\u043e\u0435 4-\u0435 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0432\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438, \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u0430, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u044f\u043f\u043e\u043d\u0441\u043a\u043e\u0435. \u041b\u044e\u0431\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u0440\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438, \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u044f \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432. \u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0431\u0440\u0435\u0448\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u00a0SMIC\u00a0\u0438\u043c\u0435\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u0436\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0442\u043d\u0438\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u041e\u043d\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.\u00a0SMIC\u00a0\u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 100\u00a0000 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 7\u00a0\u043d\u043c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432. \u042d\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 (<=7 \u043d\u043c) \u0443\u00a0Samsung\u00a0\u0438\u00a0Intel\u00a0\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0432\u0437\u044f\u0442\u044b\u0445. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0432\u0441\u0435\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a\u00a0HuaHong,\u00a0Shanghai\u00a0Huali,\u00a0YMTC,\u00a0CXMT,\u00a0GTA\u00a0Semi,\u00a0Nexchip,\u00a0Yandong,\u00a0Nexperia,\u00a0CR\u00a0Micro,\u00a0Sien,\u00a0Fulsemi,\u00a0SEMC,\u00a0NSEMI, \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b\u00a0SMIC, 7-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c, \u043f\u0440\u0435\u0432\u0437\u043e\u0448\u043b\u0438 \u0431\u044b \u0434\u0430\u0436\u0435 7\u00a0\u043d\u043c\u00a0TSMC.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d \u043d\u0435 \u0437\u043d\u0430\u044e\u0442, \u0432 \u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b. \u0418 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u043a\u00a0\u2013 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.\u00a0DUV-\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043e\u0442\u00a0ASML,\u00a0Nikon\u00a0\u0438\u00a0Canon. \u041e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u0431\u044b\u0442\u044c \u0437\u0430\u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043e, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u044c \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445. \u0425\u043e\u0442\u044f \u043b\u0438\u0434\u0435\u0440 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f,\u00a0SMEE, \u0443\u0436\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0430\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043f\u0438\u0441\u043a\u0435,\u00a0SMEE\u00a0\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0I-Line. \u0418\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f\u00a0DUV\u00a0\u0441\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u0440\u0433\u043e\u043d\u0430 (ArF) \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0435 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0430 \u043a\u00a0frontend-\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443. \u042d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d\u0438 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0434\u043e\u0433\u043d\u0430\u0442\u044c. \u041c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u0444\u0438\u0440\u043c\u044b \u0432 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438\u00a0ASML, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a\u00a0Zeiss, \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439. \u0423\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u0432\u043e\u0435\u043d\u043d\u043e-\u0433\u0440\u0430\u0436\u0434\u0430\u043d\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0435, \u044d\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0441\u0442\u044c \u0432\u00a0SMEE. \u041d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a, \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f\u00a0\u0434\u044b\u0440\u043e\u0439.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043d\u0430 \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0443 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u043e\u0439 \u0434\u044b\u0440\u043e\u0439 \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u043c \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0421\u0428\u0410, \u042f\u043f\u043e\u043d\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u041d\u0438\u0434\u0435\u0440\u043b\u0430\u043d\u0434\u0430\u043c\u0438. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0446\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a 5\u00a0\u043d\u043c, 7\u00a0\u043d\u043c \u0438 14\u00a0\u043d\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c,\u00a0KrF\u00a0\u0438\u00a0ArF\u00a0\u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0434\u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c. \u0418\u043d\u0430\u0447\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u0441\u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0440\u0435\u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0435\u0435\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u044e\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u043e\u0432.\u00a0\u00a0\u0422\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u043c \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0432 \u043d\u0430\u0443\u043a\u0435 \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043e\u043f\u0443\u0431\u043b\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0438 \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0430. \u0422\u0430\u043a \u0431\u044e\u0440\u043e \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u044b (CMSEO) \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0435 \u0432 \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u043b\u0443\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0441\u0430\u0434\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f. \u041e\u043d \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d 33\u00a0\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 \u0438 \u0441\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u044b\u043c \u043b\u0443\u043d\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c, \u0430 \u0441\u0430\u043c\u0430 \u0432\u044b\u0441\u0430\u0434\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u041b\u0443\u043d\u0443 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u0439\u0442\u0438 \u0432 2029\u20132030 \u0433\u043e\u0434\u0430\u0445.\u00a0\u00a0\u041e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043b\u0443\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0430, \u043f\u043e \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0434\u0432\u0430 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0432\u044b\u0441\u0430\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u041b\u0443\u043d\u0443 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 2020-\u0445 \u0433\u043e\u0434\u043e\u0432. \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d \u043e\u0431\u043b\u0435\u0442 \u041b\u0443\u043d\u044b \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u0435\u043c \u0431\u0435\u0437 \u044d\u043a\u0438\u043f\u0430\u0436\u0430, \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u0435\u043c \u0441 \u044d\u043a\u0438\u043f\u0430\u0436\u0435\u043c, \u0430 \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430 \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u044b \u0432\u044b\u0441\u0430\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u041b\u0443\u043d\u044b. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u041a\u0438\u0442\u0430\u0439 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d \u0432 \u0441\u043e\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441 \u00ab\u0420\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u0441\u043e\u043c\u00bb \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u041c\u0435\u0436\u0434\u0443\u043d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043b\u0443\u043d\u043d\u0443\u044e \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0446\u0438\u044e (ILRS) \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u041b\u0443\u043d\u044b \u0432 2030-\u0445\u00a0\u0433\u043e\u0434\u0430\u0445.<\/p>\n
\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a0\u00a024\u00a0\u0444\u0435\u0432\u0440\u0430\u043b\u044f 2023\u00a0\u0433\u043e\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0435, \u043f\u043e\u0441\u0432\u044f\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0435 \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432, \u0432 \u041d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043c\u0443\u0437\u0435\u0435 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0432 \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c \u0431\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u043b\u0443\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0441\u0430\u0434\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f. \u041e\u043d \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u044c\u043c\u044f \u043e\u043f\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0430 \u0441\u0431\u043e\u043a\u0443 \u0437\u0430\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435\u0445\u043a\u043e\u043b\u0435\u0441\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0443\u043d\u043e\u0445\u043e\u0434 \u0434\u043b\u044f \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0430\u0432\u0442\u043e\u0432.\u00a0\u00a0\u0414\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0441\u0430\u0434\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0438\u0437 33\u00a0\u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439, \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0430\u0440\u0448\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 (\u044d\u0442\u043e \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438\u00a0YF-36, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u043f\u0430\u0440\u0443 \u00ab\u043c\u0435\u0442\u0438\u043b\u0433\u0438\u0434\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d\u2014MON3\u00bb), \u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f. \u041a \u043f\u043e\u0441\u0430\u0434\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044e \u043f\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u043a\u043e\u0432\u0430\u043d \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c, \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u041b\u0443\u043d\u044b, \u0430 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043e\u0442\u0441\u0442\u044b\u043a\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u0442 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0441\u0430\u0434\u043a\u0443 \u0432\u0434\u0430\u043b\u0438 \u043e\u0442 \u043b\u0443\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0430\u0442\u044c \u043c\u044f\u0433\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0441\u0430\u0434\u043a\u0443 \u043d\u0430\u00a0\u041b\u0443\u043d\u0443. \u0412 \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u043c \u043b\u0443\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0441\u0442\u0430\u0440\u0442\u0443\u0435\u0442 \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u041b\u0443\u043d\u044b, \u0441\u0442\u044b\u043a\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e\u043b\u0443\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0440\u0431\u0438\u0442\u0435 \u0441 \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0442\u0430\u043c \u0435\u0433\u043e \u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u043a\u043e\u0440\u0430\u0431\u043b\u0435\u043c, \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u0432 \u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u0441 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u043c\u043c\u0435 \u00ab\u0410\u043f\u043e\u043b\u043b\u043e\u043d\u00bb. \u0412 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u044b-\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u0430\u044f \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0442\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430\u00a0Long\u00a0March\u00a010.<\/p>\n
\u041a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0438\u043b\u0438 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0432\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043c\u0438\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0435\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u044f. \u041d\u0435\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u044f \u0432 \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d \u0438\u043c\u0438\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c \u0433\u0438\u043f\u0435\u0440\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0441 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043b\u0451\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430. \u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u0431\u043e\u044f \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0443\u0447\u0451\u043d\u044b\u043c\u0438, \u0441\u0432\u0451\u043b \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u043c \u0431\u043e\u044e \u0441\u0430\u043c\u043e\u043b\u0451\u0442\u044b, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u043b\u0430 11\u00a0\u041c\u0430\u0445\u043e\u0432. \u0412 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0418\u0418 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u043b \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043e\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0446\u0435\u043b\u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0432\u043e\u043e\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0412\u0412\u0421 \u041d\u0430\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e-\u043e\u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0440\u043c\u0438\u0435\u0439 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u043e\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0442\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0451\u0442\u0435 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0432\u044b\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e\u043c \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f.<\/p>\n
\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0430\u043c\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0437\u0430\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430 \u0438 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0443\u0441\u043a \u0441 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043b\u0451\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u043c. \u041d\u043e \u0442\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0431\u043e\u0438 \u0432\u0435\u0434\u0443\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0433\u0438\u043f\u0435\u0440\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445, \u0442\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043e\u0442\u043c\u0435\u0447\u0430\u044e\u0442 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b, \u0440\u0430\u043d\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0434\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0434\u0451\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u0432\u0435\u0440\u0438\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0438\u0441\u043a\u0443\u0441\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0442\u0443 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043b\u0451\u0442\u0430 \u0438 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0441\u043a\u0430. \u041f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u00a0\u2013 \u043b\u0451\u0442\u0447\u0438\u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d \u0441\u0432\u043e\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043f\u0443\u0441\u043a \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u044b, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0433\u0438\u043f\u0435\u0440\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043b\u0451\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u0442\u044c \u0446\u0435\u043b\u044c \u0432 \u0442\u0443 \u0434\u043e\u043b\u044e \u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434\u044b, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u044d\u0442\u043e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c \u0441\u0430\u043c\u0443 \u0440\u0430\u043a\u0435\u0442\u0443. \u041d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043d \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0438\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0443\u0442 \u0433\u0438\u043f\u0435\u0440\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0442\u043e \u043e\u043d\u0438, \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0439\u0434\u0443\u0442 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044f\u0434 \u0431\u0435\u0441\u043f\u0438\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445. \u0422\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u043c\u043e\u0437\u0433 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0447\u0435\u043b\u043e\u0432\u0435\u043a\u0430 (\u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u0451\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430) \u043d\u0435 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0430\u043c\u043e\u043b\u0451\u0442\u0430, \u0441 \u043c\u0430\u043d\u0435\u0432\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 11\u00a0\u041c\u0430\u0445\u0430\u0445. \u0412 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432 \u041a\u041d\u0420 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043b\u0451\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u043b\u0441\u044f \u0441\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 1,3\u00a0\u041c\u0430\u0445\u0430. \u0412 \u043a\u0438\u0442\u0430\u0439\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0431\u044b\u043b \u0438\u0437\u0431\u0440\u0430\u043d \u0441\u0442\u0435\u043b\u0441-\u0438\u0441\u0442\u0440\u0435\u0431\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u00a0F-35\u00a0\u0412\u0412\u0421 \u0421\u0428\u0410, \u0442\u043e\u0447\u043d\u0435\u0435\u00a0\u2013 \u0435\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u044c.<\/p>\n
\u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u0441\u044b\u043c\u0438\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0441\u043a\u0440\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0431\u043e\u0437\u0435-\u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432 \u0440\u0443\u0431\u0438\u0434\u0438\u044f, \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0434\u0432\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438, \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u044b\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0443\u0433\u043e\u043b. \u0414\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u044b \u0442\u0430\u043a, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0430\u0442\u043e\u043c\u044b \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u043f\u0438\u043d\u0430, \u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u0440\u043e\u0441\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u043e\u0441\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435. \u041f\u0440\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0443\u0447\u0435\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u0448\u043b\u0438 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0430\u0437\u044b, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u0435\u043a\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0444\u0430\u0437\u0443 \u043c\u043e\u0442\u0442\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u0430. \u0422\u0432\u0438\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u00a0\u2014 \u0442\u043e \u0435\u0441\u0442\u044c \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0443 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0441\u043a\u0440\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0440\u0443\u0433 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0443\u0433\u043e\u043b\u00a0\u2014 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441 \u0431\u0443\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435. \u0424\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0435\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0433\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a \u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0432\u0438\u0433\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u0430 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043a\u0440\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0443\u0433\u043b\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c, \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0442\u0442\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c.<\/p>\n